光電產品生產過程中VOCs的排放

今天，小編將繼續(xù)為***家介紹光電產品制造業(yè)產生廢氣污染的五***類產品的制造工藝：半導體集成電路、TFT-LCD、led、印刷電路板（PCB）和電子終端產品。這些也是我們廢氣處理中經常遇到的問題。

① 半導體集成電路制造過程中VOCs的排放主要來源于光刻和顯影過程。這些過程中，使用有機溶液（如異丙醇）清潔晶圓表面，揮發(fā)的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，光刻工藝中使用的光刻膠（photoresist）中含有揮發(fā)性有機溶劑，如乙酸丁酯等，晶圓加工過程中產生的有機廢氣也揮發(fā)成氣體。

（2） TFT-LCD生產過程中VOCs的排放包括檢測和測試。TFT-LCD的制造工藝可達到100多道工序。生產過程中使用了多種化學有機溶劑和***殊氣體，產生了***量的VOCs和復雜的組分。TFT-LCD面板生產過程中VOCs的排放主要集中陣列工程和彩色薄膜工程。陣列工程中的光刻（膠合、曝光和顯影）和黑色矩形BM膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍、RGB）、保護膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS（光間隔）膜形成是VOCs產生的主要來源。TFT-LCD生產過程中產生的VOCs主要是異丙醇，其次是丙酮、單甲醚丙二醇和單甲醚丙二醇醋酸酯，占VOCs總量的90%以上。

③ LED電子元器件生產過程中VOCs的排放LED電子元器件生產過程中產生的VOCs污染物主要來自基板處理和光刻。LED生產過程中產生的VOC種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④ PCB生產過程中，單面、雙面和多面PCB生產過程都會產生VOCs。VOCs的加工環(huán)節(jié)比較集中，主要來自貼膜、干燥、印刷等行業(yè)。揮發(fā)性有機化合物的排放類型主要包括甲醛、醇類（乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇）、酮類（丁酮）和酯類。貯存過程中會產生一些揮發(fā)性有機物，乙酸乙酯的產生和排放是揮發(fā)性有機物的主要來源。

⑤ 電子終端產品制造過程中VOCs的排放電子終端產品制造過程中，VOCs的主要來源包括電路板清洗劑（采用有機溶劑型清洗劑）的有機廢氣、電路板三層防噴漆廢氣、，機器（底盤）噴漆廢氣、底盤注塑廢氣。這些廢氣來自站場局部排氣系統，具有排氣量***、濃度低的***點。